高真空熱蒸發(fā)鍍碳儀全自主支持產(chǎn)權(quán),效率更高、顆粒更細(xì),膜厚更均勻。適用于EDS樣品制備;EBSD樣品制備;MLA系統(tǒng)樣品制備;其它需要制備碳膜的領(lǐng)域。
全自主支持產(chǎn)權(quán)
效率更高、顆粒更細(xì),膜厚更均勻!
一、應(yīng)用領(lǐng)域:
1、EDS樣品制備
2、EBSD樣品制備
3、MLA系統(tǒng)樣品制備
4、其它需要制備碳膜的領(lǐng)域
二、技術(shù)參數(shù):
人機(jī)界面 | 7英寸TFT彩色液晶觸摸屏 |
蒸發(fā)源 | 高純碳纖維(選配碳棒) |
蒸發(fā)源數(shù)量 | 1-4根(更多請(qǐng)咨詢廠家) |
工作模式 | 連續(xù)、脈沖 |
操作方式 | 全自動(dòng)一鍵操作 |
真空系統(tǒng) | 渦輪分子泵+旋片泵 |
極限真空 | ≤5E-3Pa |
工作真空 |
<0.1Pa |
抽氣節(jié)拍 | <3分鐘 |
真空室 | ~φ170×130mm |
其它 | 樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)、樣品溫度檢測(cè)、蒸發(fā)除氣等 |
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