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GVC-3000T高真空熱蒸發(fā)鍍碳儀


高真空熱蒸發(fā)鍍碳儀全自主支持產(chǎn)權(quán),效率更高、顆粒更細(xì),膜厚更均勻。適用于EDS樣品制備;EBSD樣品制備;MLA系統(tǒng)樣品制備;其它需要制備碳膜的領(lǐng)域。

描述

全自主支持產(chǎn)權(quán)

效率更高、顆粒更細(xì),膜厚更均勻!

一、應(yīng)用領(lǐng)域:

1、EDS樣品制備

2、EBSD樣品制備

3、MLA系統(tǒng)樣品制備

4、其它需要制備碳膜的領(lǐng)域

二、技術(shù)參數(shù):

人機(jī)界面 7英寸TFT彩色液晶觸摸屏
蒸發(fā)源 高純碳纖維(選配碳棒)
蒸發(fā)源數(shù)量 1-4根(更多請(qǐng)咨詢廠家)
工作模式 連續(xù)、脈沖
操作方式 全自動(dòng)一鍵操作
真空系統(tǒng) 渦輪分子泵+旋片泵
極限真空 ≤5E-3Pa
工作真空

<0.1Pa

抽氣節(jié)拍 <3分鐘
真空室 ~φ170×130mm
其它 樣品臺(tái)旋轉(zhuǎn)、樣品溫度檢測(cè)、蒸發(fā)除氣等